全自動探針臺TESLA200系列 —— 半導(dǎo)體封測設(shè)備
200mm半/全自動晶圓級功率器件測量探針臺：TESLA200。品牌：Cascade。
新型TESLA200專為晶圓級IGBT/功率MOSFET（GaN，SiC，Si）器件測量而設(shè)計。該系統(tǒng)經(jīng)過精心設(shè)計，可提供高達3kV（三軸）/10kV（同軸）和200A（標準）/600A（大電流）測量的準確數(shù)據(jù)。
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